一台高品质的纯水器必须包括实时在线的离子水平监控（电阻率检查仪）和连续在线的有机物污染监控（TOC检查仪）。传统的纯水器只有电阻率检查仪，是通过监控流体离子在阴阳电极间的移动状况来反映水的纯度，测定结果与离子浓度、电荷数及离子流动性有关，是一个很好的指示水纯度的参数。超纯水在25℃时的理论电阻率为18.2 MΩ.cm。
　 但是，仅仅以18.2 MΩ.cm（25℃）的电阻率读数作为衡量超纯水的指标是远远不够的，因为很多有机物分子并不以离子形式存在，所以不会影响到电阻率的测定，造成的结果是电阻率的读数良好时，水中可能仍然存在有机物的污染。同样，纯水器检查到TOC的值只能说明水中有机物的含量的多少，并不能指示水中阴、阳离子的浓度。所以必须把两者结合起来，选择同时带有电阻率检查仪和TOC检查仪的纯水器，才能确保更高质量的超纯水。